真空閥門設計原則一般應有以下幾點
1、閥門的密封性能要好,不但閥板封閉處漏氣速率要小,而且閥體的漏氣速率要小;
2、閥門密封部件耐磨性要好,特別是閥座與閥板密封部件要能反復使用,壽命長;
3、閥門的通導能力要大;
4、閥門材料應具有低飽和蒸汽壓、高耐蝕能力和高化學穩定性;
5、超高真空閥門應耐烘烤,烘烤溫度一般不低于150℃,最高450℃;
6、閥門結構要簡單,造型美觀大方,開關輕便靈活,開關狀態應有標識,大型閥門應有起吊裝置,操作方便,維修容易;
7、閥門零部件加工工藝性要好,表面處理工藝先進,閥門連接法蘭應符合真空法蘭國家標準要求。
選用真空閥門時主要應注意的事項如下
1、所應用的真空區域;
2、關閉時閥門兩邊所承受的壓力差;
3、閥的漏率;
4、能承受的烘烤溫度;
5、能承受的環境溫度;
6、以開啟/封閉次數計的壽命;
7、如為超高真空金屬閥,還需知道其允許的升溫率和降溫率。